半导体缺陷检测公司是半导体制造过程中不可或缺的环节，对于提高产品良率、降低成本、提高生产效率、保障安全性和促进技术进步都具有重要意义。如集成电路和芯片，是由数以亿计的微小晶体管组成的，这些晶体管的尺寸和结构对器件的性能有着决定性的影响。缺陷的存在会严重影响半导体器件的性能和可靠性，因此，检测和控制这些缺陷是保证产品质量的关键。

半导体缺陷检测包括：光学有图形缺陷检测，包括断线（break）、线边缺陷（bite）、桥接（bridge）、线形变化（deformation）等； 光学无图形缺陷检测，包括颗粒物（particle）、残留物（residue）、刮伤（scratch）等；掩模版缺陷检测；电子束缺陷检测；

缺陷复查（光学及电子束），针对检测设备检出的缺陷，使用光学显微技术或扫描电镜技术确认其缺陷细节。